報(bào)道稱,三星電子已將韓國(guó)公司開發(fā)的用于高科技工藝的極紫外光刻膠(PR)引入其大規(guī)模生產(chǎn)線。2019 年 7 月,日本方面宣布限制向韓國(guó)出口包括含氟聚酰亞胺、光刻膠以及高純度氟化氫在內(nèi)的三項(xiàng)重要半導(dǎo)體及 OLED 面板原材料,經(jīng)過三年的努力,韓國(guó)實(shí)現(xiàn)了光刻膠本地化生產(chǎn)。
三星電子被發(fā)現(xiàn)在他們的一條半導(dǎo)體工藝(層)線上使用了東進(jìn)世美肯(Dongjin Semichem)的光刻膠,該光刻膠去年通過了三星電子的可靠性測(cè)試,不到一年就被應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)線。一條工藝線只是三星電子整個(gè)流程中非常小的一部分,但由于這是一個(gè)此前完全依賴進(jìn)口的產(chǎn)品,其具有特殊的意義。以前,韓國(guó) 100% 依賴從日本和其它國(guó)家進(jìn)口光刻膠。
由于三星將這一產(chǎn)品用于實(shí)際的半導(dǎo)體生產(chǎn),東進(jìn)世美肯成為第一家將光刻膠本地化并達(dá)到大規(guī)模生產(chǎn)水平的公司。永昌化學(xué)和 SK 材料性能也在開發(fā)光刻膠,但它們還沒有達(dá)到可靠性驗(yàn)證的水平。
光刻膠,是指經(jīng)過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X 射線等光照或輻射后,溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻薄膜材料,是光刻工藝中的關(guān)鍵材料,主要應(yīng)用于積體電路和分立器件的細(xì)微圖形加工。
從整體業(yè)態(tài)來看,全球光刻膠市場(chǎng)高度集中,日美把控著絕大部分市場(chǎng)份額。日本的 JSR、東京應(yīng)化、信越化學(xué)及富士膠片四家企業(yè)占據(jù)了全球 70%以上的市場(chǎng)份額,壟斷地位穩(wěn)固。